简单介绍一下：真空腔体产品CNC机加工怎么做？

真空腔体产品 CNC 机加工核心流程与要点

真空腔体是真空设备核心部件，要求高气密性、低漏率、形位精度高、表面洁净无杂质，适配高真空 / 超高真空工况（漏率≤10⁻¹⁰Pa・m³/s），CNC 加工需围绕控变形、保密封、提洁净、精配合四大核心，遵循粗精分序、去应力贯穿、密封面精修、全程洁净的原则，以下是贴合实际生产的简单实操流程与关键要点，覆盖铝合金、不锈钢（304/316L）等主流腔体材质：

一、加工前准备：定方案、选设备，源头控精度

材质与工装选型

材质：高真空腔体优先选304/316L 不锈钢（耐腐、放气率低）、6061/7075 铝合金（轻量化、易加工），原材料需经固溶 / 退火时效处理，消除锻造 / 轧制内应力，避免加工后变形；

设备：选用高精度数控加工中心（定位精度≤0.008mm，重复定位精度≤0.005mm），优先五轴 CNC（适配腔体复杂曲面 / 多工位加工，减少装夹误差）；

工装：采用液压夹具 / 真空吸盘（薄壁腔体），定位基准选一面两销，保证装夹刚性且无夹伤，夹具需做洁净处理，无铁屑、油污残留。

工艺方案制定

明确腔体关键精度要求：密封面平面度 / 垂直度≤0.005mm，粗糙度 Ra≤0.8μm（超高真空需 Ra≤0.4μm），法兰孔位同轴度 / 位置度≤0.01mm，腔体内壁无刀纹、凹坑；

规划工序：遵循粗加工→去应力→半精加工→二次去应力→精加工流程，粗加工留余量 0.5~1mm，精加工留余量 0.1~0.2mm，去应力采用振动时效 / 低温退火（不锈钢 200~300℃，铝合金 120~180℃），避免应力释放导致腔体变形、密封面失效。

二、核心加工流程：粗精分序，重点把控密封面与配合面

1. 粗加工：快速去除余量，初步成型

用硬质合金粗铣刀，采用大切深、低进给工艺，去除原材料大部分余量，加工出腔体基本外形、法兰轮廓、预留孔位；

粗加工后及时清理切屑，避免铁屑划伤工件表面，同时对腔体进行第一次去应力处理（核心步骤），消除切削应力。

2. 半精加工：修正形位误差，预留精修余量

用涂层硬质合金刀（不锈钢用 TiCN 涂层，铝合金用金刚石涂层），加工腔体内壁、法兰面、孔位，修正粗加工的形位偏差，为精加工预留均匀余量；

半精加工后进行第二次去应力（薄壁 / 大型腔体必做），检测腔体形位精度，若有偏差及时调整精加工参数。

3. 精加工：严控精度，重点加工密封面 / 配合面

密封面 / 法兰面：采用端面铣刀精修，转速 5000~8000r/min，进给量 0.05~0.1mm/r，加工后用千分表检测平面度，用粗糙度仪检测表面粗糙度，确保无刀纹、划痕、崩边；

腔体内壁：采用顺铣工艺，避免逆铣产生刀纹，铝合金腔体可做镜面加工（Ra≤0.4μm），减少真空下的气体吸附；

孔位 / 螺纹：法兰安装孔用精铰刀加工，保证孔径公差 H7，螺纹孔用专用丝锥（如挤压丝锥），避免攻丝产生毛刺，孔口做倒角（C0.5~1mm），防止密封垫划伤；

复杂结构：腔体的异形槽、流道、接口，用五轴 CNC 一次装夹加工完成，减少装夹误差，保证各部位精度一致性。

三、加工关键管控：四大核心要点，保障真空性能

控变形：除了原材料和加工后去应力，精加工时采用高速、低切削力工艺，减少切削热变形；薄壁腔体（壁厚≤3mm）用真空吸盘装夹，避免硬夹装导致的压痕、变形。

保密封：密封面 / 法兰面是核心，加工后无任何加工缺陷（刀纹、划痕、凹坑），粗糙度达标；法兰孔位精准，保证密封垫贴合均匀，超高真空腔体的密封面可做研磨抛光处理，进一步提升气密性。

提洁净：全程遵循洁净加工原则，加工区域无粉尘、油污，切削液选用无油型冷却液 / 专用切削液（避免油污残留导致真空下放气）；加工中及时用洁净压缩空气吹除切屑，严禁用手直接接触工件表面。

精配合：腔体的对接面、法兰配合面，严格把控尺寸公差与形位公差，保证装配后无缝隙；螺纹配合需做通止规检测，避免滑丝、配合过松 / 过紧。

四、加工后处理：去毛刺、清洁、检测，消除真空隐患

去毛刺：腔体所有边角、孔口、螺纹处彻底去毛刺（手工去毛刺 + 超声波去毛刺），毛刺是真空腔体的重大隐患，会导致放气率升高、密封失效。

全面清洁：依次用丙酮 / 无水乙醇超声清洗（15~20min）、高压洁净空气吹干，去除工件表面的切削液、油污、铁屑、粉尘，清洁后放入洁净环境存放，避免二次污染。

精度与性能检测

尺寸检测：用三坐标测量仪全尺寸检测，重点核对密封面平面度、孔位位置度、形位公差，确保符合图纸要求；

表面检测：用粗糙度仪检测密封面 / 内壁粗糙度，目视检查无刀纹、划痕、杂质残留；

气密性预检测：简易试漏（如皂泡法），排查明显的加工缺陷，避免后续真空检漏返工。

五、特殊要求：超高真空腔体加工附加要点

原材料需做真空除气处理，降低内部放气率；

腔体内壁避免深槽、死角，加工成圆弧过渡，减少气体吸附；

密封面采用金 / 铜镀层，提升气密性；

加工后进行高温烘烤除气（不锈钢 300~400℃，铝合金 150~200℃），去除表面吸附的气体。

六、通用注意事项

刀具需锋利，避免刀具磨损导致加工表面粗糙，不锈钢加工时做好冷却，防止加工硬化；

不同材质腔体分开加工，避免刀具交叉污染（如不锈钢刀具加工铝合金，导致铁屑混入）；

加工全程做好工序记录，便于质量追溯，不合格品及时返工，严禁带缺陷进入后续装配环节；

洁净处理后的腔体，采用无尘包装，运输与存放避免磕碰、划伤。

核心总结

真空腔体 CNC 加工的核心是 **“精度为基，密封为核心，洁净为关键”**，核心流程可概括为：应力消除贯穿全程 + 粗精分序控变形 + 密封面精修保气密 + 全程洁净除隐患，所有工序均围绕降低漏率、减少放气率展开，最终保证腔体在真空工况下的密封性和稳定性。

不同材质（不锈钢 / 铝合金）、不同真空等级（高真空 / 超高真空）的腔体，仅在去应力参数、精加工精度、后处理工艺上做针对性调整，核心加工原则一致。